产品规格
规 格:NT 12; NT 30
测量范围:12 mm; 30 mm
分 辨 率:0.05µm; 0.1µm; 0.2µm; 0.5µm; 1.0µm
移动速度:Max: 72m/min
参考点位置:上极限以下 5 ± 0.5mm 处
精度等级:±1 µm
测杆驱动方式:手 动 / 气 动
防护等级:IP 64
输出信号:1Vpp/11µApp/RS 422
电源电压:DC 5V±10%
线 长: 标准: 1.5m (Max: 30m )
主要市场
半导体设备、各种需要高精度、小行程的检测设备
应 用
直线度检测、平面度检测、几何公差测量、硅晶片的厚度测量、量块校准、直线导轨的误差测量、计量和生产控制、量块校准和测量设备的检查、多点检测设备、位置测量
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